N型PERT和PERL结构电池中，目前实验室最高效率为PERL结构，为Fraunhofer研究所的Benick等人采用1Ωcm的Fz硅片，正面扩散硼形成P+发射极，Al2O3薄膜作为钝化层，背面采用SiO2作为钝化层，在背电极下面重扩散磷形成局部N++背表面场制备的，效率达到23.9%。该研究所后来采用掺磷的SiCx:P膜和SiN:P膜作为钝化掺杂膜，使用激光进行局部掺杂，在小面积电池效率达到23.5%，大面积(143.2cm2)电池效率达到22.1%。
