本发明公开了一种基于MEMS器件的捷联惯性导航陀螺测斜仪，包括地面模块和井下测量模块。地面系统由一台微型计算机和控制单元组成，井下的测量系统包括基于MEMS器件惯性导航系统的勘测头、相关电子部件和通信部件。本发明在钻井过程中通过对测斜仪的瞬时角速度进行积分来获得测斜仪沿三个轴向旋转的角度，这样便可以实现随钻测量，实时输出油井的方位信息。同时为了消除噪声干扰、陀螺的随机漂移，采用卡尔曼滤波方法对输入数据进行处理。测斜过程只需要仪器完成一次从井口到井底再到井口的运动，便可以得到油井的完整信息。本发明的优点在于：体积小，成本低，精度高、测速快、且实现连续测量，可靠性高、使用范围广。
